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● 半導(dǎo)體工業(yè)凈化間的理想檢測(cè)儀器
● 理想的低濃度氣體檢測(cè)儀（PPb級(jí)）
● 抗干擾性強(qiáng)
● 使用插入式盒紙帶，更換方便
● 盒式紙帶剩余量顯示
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| 類 型 |
臺(tái)式，可移動(dòng) |
| 檢測(cè)原理 |
使用盒式紙帶的光電光度法原理 |
| 檢測(cè)紙帶 |
盒式紙帶、VHS型快速更換型紙帶 |
| 電源/能耗 |
AC100V，AC115V，AC220V，50/60Hz(檢測(cè)狀態(tài)耗能為35VA，紙帶卷動(dòng)時(shí)耗能60VA) |
| 尺寸/重量 |
85（W）×190（H）×40（D）mm,500g |
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檢測(cè)氣體 |
TLV值 |
檢測(cè)范圍 |
分辨率 |
磷烷（PH3） |
300ppb |
0-900ppb |
5 |
硅烷（SiH4） |
5ppm |
0-15ppm |
0.25 |
乙硼烷（B2H6） |
100ppb |
0-300ppb |
5 |
砷烷（AsH3） |
50ppb |
0-150ppb |
1 |
乙硅烷（Si2H6） |
5ppm |
0-10ppm |
0.1 |
硫化氫（H2S） |
10ppm |
0-100ppb |
1 |
碌氣（CL2） |
0.5ppm |
0-100ppb |
1 |
硒化氫（H2Se） |
50ppb |
0-300ppb |
2 |
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| 檢測(cè)原理 |
光電光度測(cè)量法 |
| 檢測(cè)紙帶 |
插入式盒式紙帶 |
| 檢測(cè)氣體范圍 |
NH3 |
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0.5-4ppm |
CL2 |
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0-0.8pm(*) |
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0-1.5ppm |
AsH3 |
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0-150ppb |
B2H6 |
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0-300ppb |
HCI |
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0.25-1ppm |
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1.5-8ppm |
HF |
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0-9ppm |
H2S |
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0-10ppm |
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00-100ppm |
PH3 |
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0-500ppb(*) |
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0-900ppb |
SiH4 |
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0-8ppm |
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0-15ppm |
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精 度
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顯示值的±20%+1 以內(nèi) |
| 檢測(cè)帶使用時(shí)間 |
1個(gè)月（無(wú)報(bào)警） |
| 報(bào) 警 點(diǎn) |
第1和第2報(bào)警 |
| 自我診斷功能 |
傳感器故障，流量低，檢測(cè)帶故障
檢測(cè)帶耗盡警告，檢測(cè)帶安裝錯(cuò)誤 |
| 外部輸出 |
4-20mA（****回路電阻為300Ω） |
| 電 源 |
AC110，110，117，220V 或 DC24V，
訂購(gòu)時(shí)需指其中一種 |
| 工作溫度/濕度 |
5-35℃，30~+90% RH （無(wú)凝結(jié)） |
| 尺寸·重量 |
164（W）×198（H）×263（D）mm,臺(tái)式 6.5kg
164（W）×164（H）×261（D）mm,盤(pán)裝式5.5kg
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● 微處理器控制
● 內(nèi)置采樣泵
● 帶背景的LCD顯示
● 結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕
● 聲光報(bào)警
● 即時(shí)顯示峰值和平均值
● 記錄器輸出信號(hào)（0-1V線形）
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| 檢測(cè)原理 |
電化學(xué)原理 |
| 檢測(cè)氣體/范圍 |
見(jiàn)檢測(cè)氣體表 |
| 濃度顯示 |
連續(xù)測(cè)量值，平均值和峰值顯示 |
| 控制功能 |
微處理器控制 |
| 顯 示 |
點(diǎn)陣LCD顯示，帶自動(dòng)照明 |
| 精 度 |
±10% 以內(nèi) |
| 反應(yīng)時(shí)間 |
30秒以內(nèi)（當(dāng)通入3倍報(bào)警點(diǎn)濃度的氣體時(shí)） |
| 采樣方式 |
內(nèi)置隔膜泵，吸入式采樣 |
| 使用溫度/濕度 |
-10℃~+40℃，小于90% RH |
| 連續(xù)使用時(shí)間 |
堿性電池（標(biāo)準(zhǔn)） 約20小時(shí)
Ni-Cd充電電池（選購(gòu)） 約10小時(shí) |
| 尺寸·重量 |
約 200（W）×80（H）×142（D）mm,1.9kg |
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檢測(cè)氣體 |
檢測(cè)范圍 |
報(bào)警設(shè)定值 |
磷烷（PH3） |
0-1.00ppm(1 刻度0.05ppm) |
0.3ppm |
砷烷（AsH3） |
0-1.00ppm(1 刻度0.05ppm) |
0.3ppm |
硅烷（SiH4） |
0-15.00ppm(1 刻度0.05ppm) |
5ppm |
乙硼烷（B2H6） |
0-30.0ppm(1 刻度0.05ppm) |
10ppm |
碌化氫（HCL） |
0-5.00ppm(1 刻度0.05ppm) |
2ppm |
氟化氫（HF） |
0-9.00ppm(1 刻度0.05ppm) |
3ppm |
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● 內(nèi)置微處理器控制
● LCD數(shù)字顯示
● 自我診斷功能
● 泵吸式采樣系統(tǒng)
● 輕便型檢測(cè)儀
● 峰值保持和平增值顯示
● 聲 / 光報(bào)警
● 數(shù)據(jù)記錄輸出
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